ガス製造プラントのメンテナンス
半導体や電子製品が製造されている工場では、窒素ガス、水素ガス、酸素ガスなどの工業ガスが昼夜を問わず使用されています。
当社では、これらの工業ガスを製造する設備のメンテナンスを行っています。
主な業務内容
【定期点検業務（定周期点検)】
「装置設計者として長年の経験」と「過去の故障対応の実績」をベースとして予防保全の要素を含めた保全計画 を立案しご提案しています。
【緊急点検業務：（緊急故障対応)】
突然発生する装置の故障に対応した、故障修理；緊急対応も行なっています。迅速な対応でお客様から定評を 頂戴しております。
設備の種類
窒素発生装置
◎深冷分離式空気分離装置 ・・・ 大気中の空気を圧縮機で圧縮し、それを原料として、膨張タービンや液体窒素で約 -170℃まで冷やした液体空気から高純度の窒素ガスや酸素ガスを発生させる装置。
◎PSA式窒素ガス発生装置 ・・・ 酸素を吸着する吸着剤が充填された容器内に空気を送り、窒素ガスを生成する装置。
◎水素添加装置付PSA式窒素ガス発生装置 ・・・ PSA式発生装置の生成ガスに残された酸素分を水素ガスと反応除去しより高純度の窒素ガスを生成する装置。
水素ガス発生装置
◎PSA式水素ガス発生装置 ・・・ メタノール等を原料とし、水素以外を吸着する吸着剤が充填された容器内に分解ガスを送って、水素ガスを生成する装置
酸素ガス発生装置
◎PSA式酸素ガス発生装置 ・・・ 窒素を吸着する吸着剤が充填された容器内に空気を送り、高濃度酸素ガスを生成する装置
構成機器（保全対象機器）
業務フロー
